超微小硬度計(エリオニクスENT-1100a)

                                           設置場所:クリーンルーム 担当者:松田健次
測定原理
ダイヤモンド圧子を超低荷重で試料に押し込み、圧子の侵入深さを高分解能の変位計で
測定することにより、材料表面の力学的特性を評価するものである。この装置の特徴は、従来の硬度計のように圧痕を光学顕微鏡で観察するのではなく、圧子の押込みと除荷の過程で荷重と圧子の変位を連続的に計測することである。

測定できること
・負荷-除荷試験
・負荷-除荷繰返し試験
・押し込み深さ設定試験
・ステップ負荷-除荷試験

利用注意点
(1)本装置は、振動、温度変化に極めて敏感である。
測定は、風防内の温度が設定値(通常は26.0℃)に一致した状態で行うこと。
また、会話程度の振動でも、特に試験荷重が小さい場合にはその影響が顕著に生じるので、
注意のこと。
(2)試料交換の際や、ステージを移動したり、試料表面にフォーカスを合わせる際には、圧子の先端を試料や試料ホルダーにぶつけないようにくれぐれも注意のこと。
(3)圧子に摩擦や欠損が生じると正しいデータが得られない。
そこで、装置の使用開始時には、標準試料(シリコンウエハ)の測定を行い、状態を確認すること。
最大押し込み深さが50nmより小さくなる場合には測定を中止し、機器分析センター事務室に連絡のこと。